Автор работы: Пользователь скрыл имя, 14 Января 2014 в 15:05, реферат
Чувствительным элементом любого емкостного сенсора является конденсатор с подвижными обкладками. Прицип действия сенсоров основан на зависимости емкости конденсатора от расстояния между обкладками. Под воздействием внешней силы расстояние между обкладками чувствительного элемента изменяется, что приводит к изменению емкости, которое, в свою очередь, фиксируется измерительной схемой датчика. Емкость конденсатора зависит от площади его обкладок, а т.к. МЕМС сенсоры в большинстве своем имеют микрометрические размеры, величина емкости их чувствительных элементов не привышает единиц пикофарад.
1. Принцип действия емкостных сенсоров…………………………………………………………………Стр.3
2. Емкостные датчики давления………………………………………………………………………………….Стр.4
3.Емкостные датчики ускорения (акселерометры)…………………………………………………….Стр.6
4.Емкостные гироскопы……………………………………………………………………………………………….Стр.8
5. Технология изготовления емкостных сеносоров давления…………………………………...Стр.12
Список литературы……………………………………………………………………………………………………….Стр.15