Автор работы: Пользователь скрыл имя, 15 Июня 2014 в 22:19, курсовая работа
Целью работы является оценка характеристик микромеханического акселерометра на поверхностных акустических волнах.
Объектом исследования является микроакселерометр на ПАВ.
Для достижения поставленной цели в дипломной работе необходимо решить следующие задачи:
Анализ существующих микроакселерометров.
Градуировка ММА на ПАВ в гравитационном поле Земли.
Оценка влияния ускорения на смещение частоты ПАВ-резонатора.
Введение…………………………………………………………………………..3
Глава 1. Анализ существующих акселерометров…………………………….10
Классификация ММА…………………………………………………….10
По наличию обратной связи……………………………………………..12
По характеру перемещения инерционной массы………………………13
По способу съема выходного сигнала…………………………………..19
Глава 2. Моделирование ЧЭ с прямоугольной формой консоли……………30
Глава 3. Экспериментальные исследования…………………………………..42
3.1. Описание экспериментального макета…………………………………….42
3.2. Градуировка ММА на ПАВ в гравитационном поле Земли…………….44
3.3. Оценка чувствительности микромеханического акселерометра (ММА) к ускорениям больше 1g………………………………………………………….47
3.4. Оценка влияния гравитационных сил на чувствительный элемент (ЧЭ) ММА при действии ускорения ортогонально оси чувствительности……….51
Заключение……………………………………………………………………….54
Литература……………………………………………………………………….55