Elektron sistlerin hazirlanma texnologiyasi

Elektron sistemlərinin element və məmulatlarının hazırlanma texnologiyasında çoxlu sayda texnoloji proseslərdən istifadə olunur. Bu texnoloji proseslərin əsasını planar texnologiya təşkil edir. Planar texnologiya dedikdə - epitaksiya, diffuziya, oksidləşmə, fotolitoqrafiya prosesləri nəzərdə tutulur. Bu texnoloji proseslər yarımkeçirici inteqral mikrosxemlərin istehsalında tətbiq olunur. Ancaq həm yarımkeçirici, həm də nazik və qalın təbəqəli inteqral mikrosxemlərin istehsalında çoxlu sayda əlavə texnoloji proseslərdən istifadə olunur. Bu texnoloji proseslərdən, metalların və dielektrik maddələrin vakuumda termik yolla buxarlandırılması, katod tozlandırılması, elektroliz üsulu ilə nazik metal təbəqələrinin çökdürülməsi, kimyəvi çökdürmə üsulu ilə nazik təbəqələrin alınması üsullarını göstərmək olar. Bu üsulların köməyi ilə inteqral mikrosxemlərin kontakt sahələrini, nazik təbəqəli keçirici naqilləri, nazik və qalın təbəqəli müqavimətləri, diffuzion rezistor və kondensatorları, nazik təbəqəli kondensatorların alt və üst köynəklərini və s. elementləri almaq olar.