Автор работы: Пользователь скрыл имя, 10 Сентября 2013 в 01:03, отчет по практике
Целью данной практики являлось ознакомление с промышленными предприятиями города Минска, историей их создания и развития, а также выпускаемой ими продукцией. В ходе ознакомительной практики было проведено три экскурсии по трём ведущим заводам города Минска, а также руководителем практики от университета было выдано индивидуальное задание для самостоятельного выполнения.
1. Введение 3
2. Экскурсии на предприятия. 4
3. Индивидуальное задание 16
4. Заключение 19
5. Список используемой литературы 20
История ГНПО "Планар" ведёт свой отсчет с ноября 1962 года, когда в г. Минске в структуре Министерства электронной промышленности СССР было создано Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ) с главным направлением деятельности: разработка и организация производства оборудования для фотолитографических процессов и сборочных операций при производстве ИС и других изделий микроэлектроники.
Первые шаги в деятельности конструкторского бюро были направлены на формирование высококвалифицированного коллектива и развитие инфраструктуры, обеспечивающей реализацию жизненного цикла создания сложнейшей продукции, начиная от научных исследований, разработки конструкторской документации, изготовления опытных образцов и заканчивая их серийным освоением, поставкой и сервисным обслуживанием продукции у покупателя.
Уже в первые годы деятельности было разработано и поставлено на предприятия электронной промышленности оборудование для производства фотошаблонов и проведения операций совмещения и экспонирования на полупроводниковых пластинах, оборудование для сборки ИС и гибридных схем, использующих термокомпрессионные, ультразвуковые, электроимпульсные методы присоединения проволочных выводов.
В 1966 году была разработана первая фотонаборная установка (генератор изображения), а в 1967 году - поточная автоматизированная линия сборки транзисторов на ленте в пластмассовых корпусах.
В 1971 году было образовано
научно-производственное объединение
"Планар" во главе с КБТЭМ. В
его состав вошли крупные
В 1973 году на "Планаре" был разработан первый степпер модели ЭМ-542, опередивший конкурентов из других стран, а в 1977 г. начато серийное производство полных автоматов присоединения проволочных выводов модели ЭМ-490Б и зондовых автоматов модели ЭМ-680, использующих 4 координатный линейный шаговый привод.
Стремительный рост степени интеграции БИС, размеров кристаллов и переход на пластины диаметром 5", 6" и 8" потребовал новых разработок. В 1981 году была разработана и серийно освоена новая базовая модель степпера ЭМ-584, использующая новый многокоординатный привод на ЛЩД, новые проекционные объективы серии Бинар. Около 1000 степперов различных модификаций базовой модели изготовлено за эти годы.
Дальнейшее развитие получило направление по разработкам генераторов изображения. Использование новых источников излучения (лазеров, импульсных ламп), быстродействующих компьютеров, модульных координатных приводов на ЛШД и высокоразрешающей оптики позволили создать семейство высокопроизводительных генераторов изображения моделей ЭМ-559 в 1978 году, ЭМ-5009(А) в 1981 году, a в 1984 году был создан многолучевой лазерный генератор модели ЭМ-5089. В 1988 году начался выпуск широкоформатных генераторов изображения для масок кинескопов и фотошаблонов печатных плат.
В 1992 году ГНПО "Планар" приступил к производству степперов модели ЭМ-5084 на новой базовой платформе, рассчитанной на использование пластин диаметром 8" с min разрешающим элементом 0,5 мкм.
Новые разработки сборочного оборудования были направлены на повышение производительности и точности выполняемых операций, полную автоматизацию рабочего цикла, создание комплексных автоматических линии. Созданные в 1981-2002 г.г. модели автоматов посадки кристаллов ЭМ-4085, присоединения проволочных выводов ЭМ-4060 (Аu) и ЭМ-4020Б (А1) были основаны на многокоординатных модульных ЛШД, техническом зрении и быстродействующих микропроцессорах. Они решили проблему резкого увеличения выпуска ИС. Более 5 тысяч штук указанных моделей было выпущено в 80-х годах. Логическим развитием этих моделей явилась разработка в 1995 году новых базовых моделей оборудования для присоединения проволочных выводов ЭМ-4260 (8 перемычек в секунду, Аu) и ЭМ-4280 (3 перемычки Аl в секунду).
В настоящие время в ГНПО «Планар» ведутся масштабные разработки по созданию оборудования для производства изделий микросистемотехники, светоизлучающих диодов, оборудования для исследований методами фотоакустической и атомной силовой микроскопии, оборудования для манипулирования объектами нанометрового диапазона.
Структура УП "КБТЭМ-ОМО" включает подразделения исследований, разработки и производства оптических систем, систем прецизионной механики, фотоэлектрических систем, электронных систем автоматического управления оборудованием, программных средств управления оборудованием, систем электро- и пневмопитания, испытания технических средств.
Научно-техническая и инновационная деятельность УП "КБТЭМ-ОМО" осуществляется в тесном сотрудничестве с научными институтами Национальной академии наук, высшими учебными заведениями РБ, отраслевыми научно-исследовательскими институтами.
Плунжерные вакуумные насосы: конструкция; принцип действия.
Плунжерные вакуумные насосы (принятое для заводской маркировки обозначение НВЗ — насос вакуумный золотниковый) применяют для откачивания воздуха, неагрессивных газов, паров и парогазовых смесей, предварительно очищенных от механических загрязнений. Предельное остаточное давление, создаваемое насосами, 1,0 ... 0,1 Па; быстрота действия в диапазоне от атмосферного давления до 150 Па в пределах 20 ... 500 дм3/с.
Плунжерные насосы, выпускаемые в одно- или двухступенчатом исполнении, используют, как правило, в качестве форвакуум- ных для высоковакуумных насосов различного типа или насосов предварительного разрежения, предназначенных для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором начинает работу другой вакуумный насос или система насосов.
Конструктивная схема плунжерного насоса:
1 — корпус; 2 — плунжер; 3 — эксцентрик; 4 — вал; 5 — направляющие плунжера;
6 — нагнетательный клапан
В корпусе одноступенчатого плунжерного насоса находится плунжер 2, который приводится в движение с помощью эксцентрика 3, расположенного на валу 4. При вращении эксцентрика вокруг центра корпуса плунжер обкатывает внутреннюю поверхность цилиндра, вследствие чего положение серповидной полости, образуемой поверхностью плунжера и внутренней поверхностью цилиндрического корпуса, непрерывно изменяется в зависимости от угла поворота эксцентрика. Прямоугольный в сечении участок плунжера перемещается в цилиндрических направляющих 5, вращающихся вокруг оси.
При вращении эксцентрика в определенные моменты зона всасывания насоса через всасывающее окно в прямоугольном участке плунжера соединяется с рабочей полостью, которая заполняется откачиваемым газом. Всасывание заканчивается при разъединении полостей цилиндра и всасывания; при этом ротор совершает практически полный оборот. В течение следующего оборота замкнутый объем, занимаемый откачиваемым газом или парогазовой смесью, уменьшается, происходит сжатие до давления, при котором открывается нагнетательный клапан 6 и осуществляется нагнетание газа через маслоотделитель в атмосферу. Таким образом, полный цикл работы плунжерного вакуумного насоса совершается за два оборота вала.
В корпус насоса заливают вакуумное масло, которое, наряду с уменьшением трения между движущимися деталями, заполняет.
радиальные и торцовые зазоры, мертвый объем, способствуя повышению герметичности рабочих полостей, а также охлаждению сжимаемого газа. Наличие масла в рабочей полости определяет предельное остаточное давление, достигаемое насосом, вследствие выделения из его состава легких фракций.
Положительные качества плунжерных вакуумных насосов состоят в высокой надежности, простоте обслуживания и практически мало меняющейся быстроте действия в широком диапазоне давлений всасывания.
К недостаткам плунжерных насосов следует отнести значительную неуравновешенность движущихся масс.тихоходность, низкие массогабаритные характеристики, невозможность непосредственного соединения с двигателем.
К вакуумным маслам, применяемым в плунжерных насосах, а также в других механических вакуумных насосах, предъявляют определенные требования. Масла должны обладать высокой упругостью пара при низком давлении, необходимой вязкостью, обеспечивающей надежную смазывающую способность в течение длительного времени работы насоса; малой способностью к окислению; слабой подверженностью температурному крекингу; малой пенистостью и токсичностью.
За время практики мы побывали на трёх экскурсиях по трём заводам и подготовили индивидуальное задание.