Технология материалов и изделий электронной техники

Целью данного курсового проекта является изучение процесса получения волноводных слоев. Рассматривались варианты нанесения на стекло следующих материалов: GaAs; In, GaP, диоксид титана. Было принято решение использовать диоксид титана. Чистый диоксид титана - это бесцветное твердое кристаллическое вещество. Несмотря на бесцветность, и больших количествах диоксид титана чрезвычайно, эффективный белый пигмент, если он хорошо очищен.

1. Введение 6
2. Литературный обзор 8
2.1. Патентный поиск 8
2.2. Физические основы ионного распыления 8
2.3. Выводы и постановка задачи 10
2.4.Плазмохимическое травление 10
2.5. Основные достоинства и преимущества 12
3.Расчетная часть 15
3.1.Схема вакуумной установки с расшифровкой элементов. 15
3.2.Расчет вакуумной системы 15
3.2.2 Расчёт 17
3.3. Оценка параметров травления 18
4. Технологическая часть 20
5. Электрофизическая часть 21
6. Экспериментальная часть 23
7. 3аключение 25
Список литературы 26
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 32