Метод магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием

Технологии, связанные с нанесением тонкопленочных покрытий, являются одними из наиболее актуальных направлений получения новых материалов, в том числе наноструктурных. Хорошим примером важности применения тонкопленочных покрытий являются полупроводниковая, оптическая промышленности и водородные технологии в энергетике. Высокие темпы развития этих наукоемких отраслей требуют непрерывного повышения качества и эксплуатационных свойств покрытий. Реализация этих требований напрямую зависит от достижений в разработке и конструировании оборудования и совершенствования технологий получения тонких пленок.

Введение 4
Физические основы вакуумного напыления 6
Закономерности образования и роста вакуумных покрытий 7
Классификация методов нанесения вакуумных покрытий 9
Метод магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием 11
Ионная очистка 14
Подбор насоса для получения вакуума 18
Заключение 23
Литература 24