Тензорезестивный принцип измерения давления

По виду измеряемого давления приборы подразделяются для измерения избыточного и абсолютного давления – манометры, разрежения – вакуумметры, давления и разрежения – мановакуумметры, атмосферного давления – барометры и разностного давления – дифференциальные манометры (дифманометры). Манометры, вакуумметры и мановакуумметры для измерения небольших (до 20-40 кПа) давлений газовых сред называют соответственно напоромерами, тягомерами и тягонапоромерами, а дифманометры с таким диапазоном измерения – микроманометрами.

ВВЕДЕНИЕ 4
1 Методы преобразования давления 6
1.1 Тензометрический метод 6
1.2 Пьезорезистивный метод 7
1.3 Емкостный метод 9
1.4 Резонансный метод 10
1.5 Индуктивный метод 11
1.6 Ионизационный метод 11
2 Физический принцип действия тензорезистивного преобразователя давления 16
3 Метрологические характеристики погрешностей 20
4 Современая рефлизацмя измерения давления тензрезестивным методом 24
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 26
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 27