Установки катодного распыления, триодная схема

Цель работы: Определение закономерностей процесса формирования тонких пленок методом катодного распыления.

Задачи:
проведение исследования процесса формирования тонких слоев методом катодного распыления;
изучение влияния ряда факторов на проведение процесса получения ультратонких пленок;
выявление основных преимуществ и недостатков метода;

Введение…………………………………………………………………………...4
Цели и задачи………………………………………………………………….......5
Ионно-плазменные методы получения тонких пленок………….……....6
Сущность метода катодного распыления…………………………...…....8
Режимы катодного распыления…………………………………...14
Конструктивные особенности установки катодного распыления. Триодная схема………………………………………………….…16
Получение пленок методом катодного распыления, последовательность процесса…………………………………………………………….……..17
Характеристики тонких пленок, полученных методом ионного распыления………………………………………………………………..19
Применение тонких пленок, полученных методом катодного распыления………………………………………………………………...20
Достоинства и недостатки метода………………………………………20
Выводы по работе………………………………………………………………..23
Список использованных источников………………………………