Автор работы: Пользователь скрыл имя, 12 Января 2013 в 22:46, курсовая работа
Вакуумная техника - получение, измерение и применение давлений порядка тысячной нормального атмосферного давления и более низких. Вакуумная техника, методы которой когда-то не выходили за пределы научной лаборатории, в настоящее время применяется во многих отраслях промышленности. Первые области ее промышленного применения - откачка осветительных электроламп и электровакуумных приборов - по-прежнему имеют важное значение, но с появлением транзисторов электронная промышленность нашла новое применение вакуумному оборудованию в производстве высокочистых материалов.
Рис.
6. ПАРОСТРУЙНЫЙ ЭЖЕКТОР для промышленной
откачки. Рабочий водяной пар через патрубок
S поступает в сопло N, формирующее высокоскоростную
струю. Проходя по трубке Вентури V, водяной
пар понижает давление в камере C, в которую
при этом через впускное отверстие I засасываются
пары из откачиваемого аппарата. Водяной
пар переносит откачиваемые пары к выпускному
отверстию D.
Новые
методы. Криогенный насос. В криогенном
вакуумном насосе используются крайне
низкие температуры. Действие насоса основано
на том, что интенсивность хаотического
движения молекул уменьшается при понижении
температуры. Такой насос представляет
собой камеру с металлическим сосудом,
закрепленным в нижней ее части. Через
сосуд циркулирует жидкий гелий, температура
которого равна 4,2 К (-268,96° C). Металлические
радиационные экраны закрывают сосуд
от теплового излучения, но пропускают
молекулы газа. Молекула газа, попадающая
на поверхность сосуда с гелием, теряет
свою кинетическую энергию и остается
на этой поверхности. Криогенный насос
может работать в любом положении и устанавливается
без соединительных трубопроводов, снижающих
быстроту откачки. Такой насос незаменим
при откачке больших камер, в которых имитируются
космические условия. Криогенные насосы
могут создавать давления ниже 10-11 мм рт.
ст. Давление порядка 10-13 мм рт. ст. можно
получить, просто частично погрузив небольшую
стеклянную вакуумную систему в жидкий
гелий.