Вакуумная камера

Установка вакуумная модели ВУ700Л (в дальнейшем – установка) предназначена для нанесения в вакууме покрытий на оптические детали методом электронно-лучевого и резистивного испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным фотометрическим контролем толщины покрытия.
Установка обеспечивает возможность нанесения металлических, однослойных, просветляющих, ахроматических, интерференционных, зеркальных, фильтрующих, токопроводящих и других оптических покрытий для области спектра по заданной программе.

1.
Назначение
3
2.
Технические характеристики
4
3.
Комплектность
7
4.
Устройство и работа составных частей
13
4.1.
Схема вакуумная
13
4.2.
Схема пневматическая
16
4.3.
Схема гидравлическая
19
4.4.
Установка
21
4.4.1.
Установка
21
4.4.2.
Форвакуумный агрегат
22
4.4.3.
Каркас
23
4.5.
Вакуумная камера
24
4.6.
Затвор
25
4.7.
Клапаны вакуумные
25
4.7.3.
Расходомер РРГ-12
27
4.7.4.
Клапан напуска воздуха
28
4.8.
Резистивный испаритель
29
4.9.
Устройство подколпачное
31
4.9.1.1.
Механизм перевода контрольного образца
33
4.9.1.2.
Узел вращения арматуры
35
4.9.1.3.
Ввод вращения арматуры
37
4.10.
Привод заслонок
38
4.11.
Кварцевый резонатор
42
4.12.
Ионный источник «АИДА»
42
4.13.
Арматура
43
4.14.
Испаритель электронно-лучевой
44
4.15.
Электрооборудование
57
5.
Указание мер безопасности
59
6.
Подготовка установки к работе
63
7.
Порядок размещения установки
67
8.
Порядок работы
68
9.
Возможные неисправности
69
10.
Техническое обслуживание
71
11.
Консервация
76
12. Сведения о консервации, упаковывании и транспортировании
77
13.
Свидетельство об упаковывании
79
14.
Свидетельство о приемке
80
15.
Заметки по эксплуатации и хранении
81