Автор работы: Пользователь скрыл имя, 03 Сентября 2013 в 19:14, отчет по практике
В наше время очень быстро развивается микросистемная техника, в основе которой, лежат микро электромеханические устройства. Вся эта техника реализуется на микроуровне. Особенность микросистемной техники состоит в том, что технологии массового производства имеют микроэлектронику характерную для более сложных устройств. Это позволяет изготавливать устройства более маленьких размеров и низкой стоимостью.
Сейчас стоит открытый вопрос о создании и эксплуатации новых материалов для микросистемной техники. Поэтому в настоящее время идут работы по созданию материалов с новыми свойствами.
1. Введение.
2. Постановка задачи.
3. Теоретическая часть.
3.1. История открытия пористого кремния.
3.2. Травление пористого кремния.
3.3. Люминесценция пористого кремния.
4. Описание экспериментальной установки.
4.1. Установка по травлению пористого кремния.
4.2 Установка для снятия спектра люминесценции и кинетики.
5. Экспериментальные данные и результаты.
5.1. Спектры образцов.
5.2. Кинетика люминесценции образцов.
6. Заключение.
7. Список литературы.