Автор работы: Пользователь скрыл имя, 10 Декабря 2013 в 19:40, курсовая работа
Травление — группа технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки под действием специально подбираемых химических реактивов. Ряд способов травления предусматривает активацию травящих реагентов посредством других физических явлений, например, наложением внешнего электрического поля при электрохимическом травлении, ионизацией атомов и молекул реагентов при ионно-плазменном травлении, обработка ультразвуком и термическая обработка при химическом травлении и т.п.
ПЕРЕЧЕНЬ УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ……………………………..….3
ВВЕДЕНИЕ. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ И ЦЕЛИ ТРАВЛЕНИЯ……………… .
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О ПРОЦЕССЕ ТРАВЛЕНИЯ
ЦЕЛИ ТРАВЛЕНИЯ
ГЛАВА 1. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТИТАНА.
1.1. ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТИТАНА....................................
1.2. ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТИТАНА.............................................
ГЛАВА 2. ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ. ТРАВИТЕЛИ……………
2.1.ТРАВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ РАСТВОРОМ ЩАВЕЛЕВОЙ КИСЛОТЫ.
2.2. ТРАВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ РАСТВОРОМ ФОСФОРНОЙ КИСЛОТЫ.
2.3. ДРУГИЕ КИСЛОТНЫЕ СМЕСИ В ТРАВЛЕНИИ ТИТАНА
2.4. СМЕСЬ ФТОРИДА АММОНИЯ, ФОСФОРНОЙ КИСЛОТЫ И ЭТИЛЕНГЛИКОЛЯ В ТРАВЛЕНИИ.
ГЛАВА 3. ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ.
3.1 ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОБЕЗЖИРИВАНИЕ
3.2 СРАВНИТЕЛЬНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ПРОЦЕССОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО И ХИМИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ
3.3 ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
3.4 УСТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
ГЛАВА 4 ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ.
4.1 РАЗВИТИЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ.
4.2 ПЛАЗМА: ОПРЕДЕЛЕНИЕ, ОСНОВНЫЕ ПРОЦЕССЫ
4.3 ОСНОВНЫЕ СТАДИИ ПРОЦЕССОВ СУХОГО ТРАВЛЕНИЯ
4.4 ПРИМЕНЕНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В НАШЕ ВРЕМЯ.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК