Вакуумная камера

Управление резистивными  и электроннолучевыми испарителями осуществляется по программе контроллера, выполненного на микроконтроллере A72 и модулях ввода-вывода A73-A76. Назначение выводов модулей ввода-вывода обозначены на электрической схеме.    

 

 

 

 

 

Рис. 4.15.1. Система управления

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 4.15.2. Система управления

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5. УКАЗАНИЕ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ

          5.1 Общие требования безопасности должны соответствовать ГОСТ 12.2.003-91; ГОСТ 12.1.019-79; ГОСТ 12.1.004-91.

          5.2. Установку обслуживает один оператор. Работа разрешается в том случае, если в помещении находится ещё один работник, кроме оператора, имеющий право работать на этой установке.

          5.3. К работе на установке допускаются лица в возрасте не моложе 18 лет, прошедшие медицинский осмотр, инструкции по технике безопасности на рабочем месте, изучившие правила и инструкцию по эксплуатации и имеющие удостоверение на право работы на электроустановках с напряжением до 1000 В, с квалификацией по электробезопасности не ниже 3 группы.

        Оператор должен быть обучен и аттестован по  «Межотраслевым правилам по охране труда при работе в электроустановках» и по ТКП 181-2009 «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей»,  утвержденным  Постановлением Минтруда и Минэнерго от 30.12.2008 №205/59 и Постановлением Минэнерго от 20.05.2009 г. №16 соответственно

     По способу защиты  от поражения электрическим током  вакуумная установка относится к классу 01 по ГОСТ 12.2.007.0-75.

          5.4. Нейтрализация отходов при очистке внутренних поверхностей вакуумной камеры и отработанных масел от форвакуумных насосов должна производиться в соответствии с нормативно-технической документацией на требования при работе с вредными веществами.

         5.5. При работе на установке необходимо соблюдать следующие правила:

     Установка и форвакуумный агрегат должны быть заземлены согласно «Межотраслевым правилам по охране труда при работе в электроустановках» и  ТКП 181-2009 «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей»,  утвержденным  Постановлением Минтруда и Минэнерго от 30.12.2008 №205/59 и Постановлением Минэнерго от 20.05.2009 г. №16 соответственно;

• запрещается работать при снятых щитах установки;
• не допускается работать при неисправных блокировках;
• при работе с вредными веществами необходимо пользоваться перчатками или напальчниками;
• не разрешается оставлять без наблюдения установку, находящуюся под напряжением.

         На установке во время настройки и при ремонте должны быть вывешены предупреждающие знаки и плакаты; вокруг установки должны быть выставлены ограждения.

При обнаружении каких-либо неисправностей в установке необходимо поставить в известность об этом мастера или лицо его замещающее.

          5.6. Планировка размещения установки на рабочем участке должна обеспечивать беспрепятственный доступ ко всем узлам и блокам.

          5.7. Монтаж установки должен быть произведен в соответствии с «Межотраслевыми правилами по охране труда при работе в электроустановках» и c ТКП 181-2009 «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей»,  утвержденным  Постановлением Минтруда и Минэнерго от 30.12.2008 №205/59 и Постановлением Минэнерго от 20.05.2009 г. №16 соответственно    

       5.8. Эксплуатация установки допускается только при наличии на смене не менее двух человек, имеющих квалификационную группу по электробезопасности не ниже 3. Выполнять вспомогательные работы и присутствовать в помещении при работе установки могут лица, имеющие 2 группу по электробезопасности.

          5.9. Ремонтные и наладочные  работы на установке разрешается проводить бригаде, состоящей не менее чем из двух человек, с разрешения начальника (участка, лаборатории), обеспечивающего все организационные и технические мероприятия, гарантирующие безопасность работы согласно документации, перечисленной в п.5.1., 5.2. Технический персонал, проводящий ремонтные и наладочные работы, обязан иметь образование не ниже средне-технического и быть аттестован на предприятии-изготовителе.

          5.10. В помещение, где расположена установка, запрещается доступ посторонних лиц без разрешения администрации участка. На двери участка должна быть надпись «Посторонним лицам вход запрещён».

          5.11. Уборка помещения должна производиться только влажным способом при полном снятии напряжения и в присутствии кого-либо из персонала, обслуживающего установку.

          5.12. Помещение, где расположена установка, должно быть снабжено проверенными средствами пожаротушения.

          5.13. Установка должна быть заземлена голым медным проводом, сечением не менее 6 мм². Вакуумные насосы заземлить проводом сечением не менее 4мм².

          5.14. Запрещается работать при снятых обшивках кожухах и щитах.

          5.15. Запрещается оставлять без наблюдения установку, находящуюся под напряжением.

          5.16. В случае попадания человека под напряжение необходимо:

1. быстро освободить его от действия электрического тока, не прикасаясь к нему незащищёнными руками (отключить установку);
2. немедленно начать оказывать пострадавшему первую помощь с применением необходимых приспособлений и средств, которые должны иметься на участке;
3. помнить, что при поражении электрическим током смерть часто бывает только кажущейся, и заключение об этом может вынести  только врач;
4. вызвать скорую помощь.

          5.17. Необходимо соблюдать осторожность при работе вблизи нагретых частей установки во избежание ожогов (внутренняя поверхность камеры, внутрикамерная арматура).

          5.18. Легковоспламеняющиеся жидкости (ЛВЖ) должны храниться в небьющейся, герметически закрытой посуде и таре.

          5.19. Запас ЛВЖ на рабочем месте не должен превышать потребности односменной работы.

          5.20. Обтирочный материал должен храниться в специальных металлических ящиках с закрывающимися крышками.

          5.23. Промывать внутренние поверхности установки только этиловым спиртом, при включенной приточно-вытяжной вентиляции.

          5.24. Все функциональные зоны, на которые делится площадь, занимаемая установкой, должны быть охвачены контуром заземления.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6. ПОДГОТОВКА УСТАНОВКИ К РАБОТЕ.

          6.1. Перед подготовкой установки к работе следует ознакомиться с комплектом сопроводительной документации.

          6.2. При получении установки следует убедиться в отсутствии повреждений, отсутствии повреждений отдельных элементов, в комплектности установки соответственно таблиц (см. п.3.). Претензии при некомплектности после пуска установки в эксплуатацию не принимается.

          6.3. При монтаже установки на месте эксплуатации, проверке технологического состояния и изменении параметров должны соблюдаться требования безопасности согласно ГОСТ 12.2.003-91, ГОСТ 12.1.019-79, ГОСТ 12.1.004-91, ГОСТ 12.2.064-81, ГОСТ 12.2.062-81, ГОСТ 12.3.019-80, ГОСТ 12.2.061-81, ГОСТ 12.2.049-80.

          6.4. Освободить откачной пост, форвакуумный агрегат от чехлов. Протереть все металлические поверхности установки ветошью (или бязью), смоченной в бензине-растворителе ГОСТ 3134-78 с последующим протиранием насухо. Снять заглушки или чехлы со штуцеров системы охлаждения, подвести холодную и горячую воду, а также подсоединить к установке рукава для слива воды. Слив воды должен быть свободным (без подпора). Подвод и слив воды осуществляется шлангами ПВХ внутренним диаметром 32 мм.

          6.5. Установить форвакуумный агрегат. Соединить выходной трубопровод механического насоса с выхлопной магистралью участка. Подготовить форвакуумный агрегат к работе согласно указаниям документации на данный насос.

          6.6. Подготовить турбомолекулярный насос к работе в соответствии с паспортом.

          6.7. Проверить уплотнение узлов, установленных в вакуумной камере.

          6.8. Провести необходимый электрический монтаж согласно схеме электрической расположения 700Л.00.00.000Э7. Подсоединить установку к электросети.

          6.9. Для обеспечения качества работы системы охлаждения необходимо регулярно один раз в две недели очищать входные фильтры подачи воды в установку.

          6.12. Откачная система, система питания и управления монтируются только представителями изготовителя.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7. ПОРЯДОК РАЗМЕЩЕНИЯ УСТАНОВКИ.

          7.1. В производственном помещении установка должна размещаться согласно планировки, представленной на рис.3.1., 3.2, 3.3.

          7.2. Доступ к установке должен быть со всех сторон. Расстояние между элементами установки и стенами помещения должно быть не менее 0,7 метра.

          7.3. Система электроснабжения установки запитывается от трехфазного напряжения 380 В частотой 50 Гц четырехпроводной линией с нулевым проводом.

          7.4. Система водоснабжения: давление воды от 0,3 до 0,5 Мпа (от 3 до 5 кгс/см²). Расход воды не более 9 л/мин.

          7.5. Установка подключается к сети сжатого воздуха с давлением в пределах 0,4¸0,6 Мпа (4¸6 кгс/см²).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

8. ПОРЯДОК РАБОТЫ.

          8.1. Подать на установку сжатый воздух.

          8.2. Подать на установку холодную воду.

          8.3. Подать напряжение.

          8.4. На панели управления включить питание. Проконтролировать остаточное давление в камере (не более 20Па) и турбомолекуляроном насосе (не более 10Па).

          8.5. Нажать кнопку «дежурный режим» при этом включится механический вакуумный насос, откроется форвакуумный клапан. По достижении заданного вакуума включается турбомолекулярный насос. Время разгона насоса не более 15 мин.

          8.6. Нажать кнопку «напуск воздуха», время напуска не более 300 сек.

Открыть двери камеры, очистить внутренние поверхности экранов при помощи ветоши и пылесоса, проверить состояние экранов нагревателей. Тщательно промыть внутренние поверхности спиртом этиловым или бензином «галоша».

          8.7. Установить в технологической оснастке подготовленные к обработке изделия. Закрыть дверь камеры.

          8.8. Нажать кнопку «высоковакуумная откачка».

          8.9. Провести технологический процесс согласно технологической карте.

          8.10. После охлаждения изделий напустить в камеру воздух, открыть двери и вынуть изделия.

          8.11. Нажать кнопку «откл.». После остановки турбомолекулярного насоса установка автоматически выключится.

 

 

 

 

 

 

 

9. ВОЗМОЖНЫЕ НЕИСПРАВНОСТИ.

 

          При возникновении неисправностей системы охлаждения, пневмосистемы и др. на мониторе высвечивается сигнал аварии.

Другие возможные неисправности  и методы их устранения отображены в таблице.

 

Неисправность.	Вероятная причина.	Способ устранения.
Не открывается форвакуумный или байпасный клапан.         Не запускается турбомолекулярный насос.             Не достигается технологический вакуум или время откачки более 60мин.         Не включаются нагреватели.	Механический насос  не обеспечивает достаточное разряжение. Недостаточное давление воздуха в пневмосистеме.     Недостаточное разряжение в насосе.   Не подаётся охлаждающая вода на насос. Неисправен вакуумметр.     Течь в камере или  магистралях.   Сильно загрязнённая камера или обрабатываемые изделия.     Проверить наличие напряжения на нагревателях. Проверить сопротивление  на нагревателях	Проверить и устранить неисправность согласно документации на насос. Подать сжатый воздух или увеличить давление редуктором.   Проверить герметичность вакуумной системы. Проверить систему охлаждения. Проверить работу вакуумметра.   Подключить гелиевый течеискатель, найти и устранить течь. Убрать из камеры детали, тщательно очистить и промыть камеру. Произвести откачку.         Заменить нагреватель
Не включается электродвигатель форнасоса N1.   Не включается ни один из режимов откачки.                     Не включается  не один из режимов откачки.     Не включается один из нагревателей. На экране дисплея не загорается соответствующий индикатор протока.	Перегрузка по току. Отключилось электротепловое реле КК1.   Отсутствует давление воздуха в пневмосети.   Отсутствует давление воды в гидросистеме.   Отсутствует давление воды в гидросистеме. Неисправно соответствующее реле протока.	Нажать и отпустить  кнопку на тепловом реле КК1.         Поднять давление воды.     Отрегулировать срабатывание реле протока.