Вакуумная камера

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

14. Свидетельство о приемке

 

СВИДЕТЕЛЬСТВО О ПРИЕМКЕ   Вакуумная установка                ВУ700Л                             003       наименование  изделия                        обозначение                             заводской номер   изготовлен (а) и принят (а) в соответствии с обязательными требованиями государственных стандартов, действующей технической документацией и признан (а) годным (ой) для эксплуатации.     Начальник ОТК                     МП   ___________________                      _____________________                                  личная подпись                              расшифровка подписи                         2012.03.13.                             год, месяц, число

Линия отреза при поставке на экспорт          Руководитель        предприятия                                                                          __________________________                                                                                                            обозначение документа,                                                                                                 по которому производится поставка            МП ____________________                      _______________________                                личная подпись                                                   расшифровка подписи                    ____________________                                год, месяц, число                                                                                              Заказчик                                                                                          (при наличии)                                        МП __________________    ____________________                                                                 личная подпись                      расшифровка подписи                                                   __________________                                                                   год, месяц, число

 

15. Заметки по эксплуатации и хранению

         15.1 Общие требования безопасности должны соответствовать ГОСТ 12.2.003-91; ГОСТ 12.1.019-79, ГОСТ 12.1.004-91.

         15.2. Конструкция вакуумной установки должна отвечать всем требованиям нормативных документов по охране труда, технике безопасности, противопожарной охране и санитарно-гигиеническим нормам.

         15.3. Вакуумную установку обслуживает один оператор. Работа разрешается в том случае, если в комнате находится еще один работник, кроме оператора, имеющий прав работать на этой установке.

          15.4. Рабочее место оператора должно быть организовано для работы стоя и соответствовать ГОСТ 12.2.033-78.

         15.5. К самостоятельной работе на вакуумной установке допускаются лица, достигшие 18 лет, прошедшие медицинское освидетельствование, освоившие курс « Устройство и правила эксплуатации вакуумных установок» и изучившие  весь комплекс эксплуатационной документации на вакуумную установку.

         Оператор должен быть обучен и аттестован по «Межотраслевым правилам по охране труда при работе в электроустановках» и по ТКП 181-2009 «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей»,  утвержденным  Постановлением Минтруда и Минэнерго от 30.12.2008 №205/59 и Постановлением Минэнерго от 20.05.2009 г. №16 соответственно

По способу защиты от поражения электрическим током  вакуумная установка относится к классу 01 по ГОСТ 12.2.007.0-75.

15.6. Нейтрализация отходов продуктов напыления при очистке подколпачной арматуры и отработанных масел с диффузионного и форвакуумного насосов должна производиться в соответствии с нормативно-технической документацией на требования при работе с вредными веществами.

           15.7. Опасные и вредные факторы, возникающие при эксплуатации вакуумной  установки, способы их устранения, снижения. Локализации приведены в таблице 15.1.

 

Таблица 15.1 - Опасные и  вредные факторы

Опасные и вредные  факторы

Способы их устранения, снижения, локализации

1. Повышенная запыленность и загазованность рабочей зоны             2. Повышенная яркость света     3. Напряжение выше 42 В, которое может оказаться на любой металлической части вакуумной установки                   4. Пониженная температура поверхности оборудования     5. Скопление паров азота в сосуде с жидким азотом 6. Повышенная температура поверхности оборудования

Помещение, где эксплуатируется  вакуумная установка, должно быть оборудовано приточно-вытяжной вентиляцией. Над вакуумной установкой должен быть установлен зонт, на выход с форвакуумного насоса - маслосборник с фильтром. Воздух рабочей зоны должен соответствовать требованиям ГОСТ 12.1.005-88, ГОСТ 12.1.007-76 При работе на вакуумной  установке использовать очки со светофильтром, тип 0 по ГОСТ 12.4.013-85. На составных частях вакуумной установки предусмотрены заземляющие устройства: на откачном посту – болт М10 с контактной площадкой диаметром 30мм, на стойке управления шпилька М8. Над заземляющим болтом и шпилькой должны быть установлены знаки заземления по ГОСТ 21130-75. Для ремонтных и наладочных работ в комплекте вакуумной установки предусмотрена разрядная штанга для снятия потенциала с конденсатора высоковольтного источника электродов. При работе на вакуумной установке оператор должен стоять на ковре диэлектрическом резиновом по ГОСТ 4997-75. Установку азотного питателя на сосуд СК-16 ТУ26-04-622-88 снятие и подключение  его к ловушке производить в специальных рукавицах из асбестовой ткани по ГОСТ 12.4.010-75. Предусмотрен клапан в конструкции питательного устройства. Работы на вакуумной  установке при прогреве рабочей  камеры горячей водой и следует  выполнять в специальных рукавицах из асбестовой ткани.

 

15.8. Электронно-лучевой испаритель с блоками питания, входящий в вакуумную установку, представляет собой сложную электронную систему, эксплуатация которой требует квалификационного обслуживания. Обслуживающий персонал должен быть обучен правилам технической эксплуатации и безопасности обслуживания электроустановок с напряжением выше 1000 В. Эксплуатация и профилактика испарителей и блоков питания должна осуществляться под руководством инженера или техника, умеющего производить наладку как системы в целом, так и отдельных ее частей.

15.9. При работе с электронно-лучевыми испарителями оператор должен всегда помнить о том, что применяемые в нем напряжения являются опасными для жизни.

15.10. Схема и конструкция ЭЛИ и блоков питания предусматривают полную защиту оператора от высокого напряжения. Однако каждый раз после выключения высокого напряжения, прежде чем коснуться рукой высоковольтных элементов, необходимо дополнительно снять остаточный заряд с помощью изолирующей штанги, один конец которой соединен с корпусом.

15.11. Разъемы высоковольтных кабелей, соединяющих испарители со стойкой ЭЛИ 6/12, со стороны испарителя не имеют блокировок по высокому напряжению. Категорически запрещается включать высокое напряжение при снятых высоковольтных кабелях. Снятие разъемов допускается лишь при демонтаже испарителей.

15.12. Необходимо периодически проверять заземление откачного поста, стойки управления. Сопротивление заземления должно быть не более 0,1 Ом.

        15.13. Электрооборудование вакуумной установки должно иметь степень защиты УР 20 по ГОСТ 14254-80.

         15.14. Органы управления должны соответствовать требованиям ГОСТ 9146-79, ГОСТ 21753-76, ГОСТ 22269-76.

15.15. При работе на вакуумной установке необходимо соблюдать следующие правила:

         - откачной пост, форвакуумный агрегат должны быть заземлены согласно «Межотраслевым правилам по охране труда при работе в электроустановках» и ТКП 181-2009 «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей»,  утвержденным  Постановлением Минтруда и Минэнерго от 30.12.2008 №205/59 и Постановлением Минэнерго от 20.05.2009 г. №16 соответственно

       -     запрещается работать при снятых  дверках установки;

• не допускается работать при неисправных блокировках;
• при работе с жидким азотом следить за тем, чтобы брызги азота не попадали на незащищенные части тела;
• при работе с вредными веществами необходимо пользоваться перчатками или напальчниками;
• не разрешается оставлять без наблюдения установку, находящуюся под напряжением.

15.15.1. Нельзя проводить реактивное напыление (с напуском кислорода в камеру), без напуска инертного газа в форвакуумный агрегат  при давлении в камере более 5.10^-2 мм рт.ст.

         15.15.2. На установке во время настройки и при ремонте должны быть вывешены предупреждающие и закрепляющие знаки по СТБ 1392-2003; вокруг установки должны быть выставлены ограждения.

          15.15.3. Запрещается замена жидкого азота жидким воздухом или жидким кислородом во избежании взрыва.

         15.16. Уровень шума работающей установки должен соответствовать требованиям ГОСТ 12.1.003-83.

         15.17. Вибрация работающей вакуумной установки не должна превышать требований ГОСТ 12.1.012-2004.

         15.18. При обнаружении каких-либо неисправностей в вакуумной установке необходимо поставить в известность об этом мастера.

          15.19. Планировка размещения вакуумной установки в помещении должна обеспечивать беспрепятственный доступ ко всем узлам и блокам.

         15.20. Монтаж вакуумной установки, стоек и блоков управления должен быть произведен в соответствии с «Межотраслевыми правилами по охране труда при работе в электроустановках» и ТКП 181-2009 «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей»,  утвержденным  Постановлением Минтруда и Минэнерго от 30.12.2008 №205/59 и Постановлением Минэнерго от 20.05.2009 г. №16 соответственно

         15.21. Условия хранения вакуумной установки в упаковке должны соответствовать условиям хранения 2 по ГОСТ 15150-69.

          15.22. Условия хранения вакуумной установки в распакованном виде должны соответствовать условиям ее эксплуатации.

 

					700Л.00.00.000 ПС	Лист
Изм	Лист	№ Докум	Подп	Дата		Листов 86