Вакуумная камера

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ.

          10.1. Техническое обслуживание системы фотометрического контроля, вакуумметров, вакуумного агрегата, насосов и других комплектующих изделий следует производить в соответствии с предлагаемыми эксплуатационными документами на эти изделия.

          10.2 Осмотр и ремонт механических узлов вакуумной установки производит специалист по вакуумному оборудованию. Осмотр и ремонт электрических устройств в вакуумной установке производится не менее чем двумя специалистами-электриками. Технический персонал, проводящий ремонтные и наладочные работы, обязан иметь образование не ниже средне-технического и быть аттестован на предприятии-изготовителе.

          10.3. В процессе работы следует периодически не реже одного раза в месяц производить осмотр и, при необходимости, подтяжку вакуумных уплотнений, а в случае выхода их из строя – замену.

          10.4. Вакуумные прокладки изготовлены из специальной вакуумной резиновой смеси по ТУ 38 105116-81. Перечень прокладок, имеющихся в вакуумной установке, приведен в таблице 10.1.

Таблица 10.1. Перечень прокладок

Обозначение	Размеры,  мм		Место установки, уплотняемый узел
	внутренний диаметр	сечение
2119.01.01.038	910	Ø7	дверь камеры
А1-1857	14	Ø2	электронно-лучевые испарители
А1-1858	18	Ø2	клапан аварийный
А1-1860	30	Ø2,5	мех-м перевода контрольного образца, ввод вращения арматуры, электронно-лучевые  испарители, уплотнение заглушек резервных отверстий
А1-1861	36	Ø3	уплотнение заглушек резервных отверстий,  резистивный  испаритель, высоковольтные вводы, привод заслонки, электронно-лучевые испарители
А1-1889	45	Ø3	электронно-лучевые испарители
А1-1862	56	Ø3	нагреватель в камере
А1-1863	67	Ø3	электронно-лучевые испарители, боковое фотометрическое окно на нижней плите
А1-1864	90	Ø3,5	фотометрическое окно на нижней плите, уплотнение заглушки резервного отверстия
А1-1866	165	Ø4	окно двери камеры
А1-1869	420	Ø7	вакуумная камера
А1-1890	9,2	3х4,5	мех-м перевода контрольного образца, привод заслонок
2116.01.01.096	50	3х5	Высоко- и низковакуумные датчики, клапан напуска воздуха
2116.01.01.093	63	3х4	уплотнение заглушки резервного отверстия
700Л.01.400.007	28	2х7,5	фотометрическое окно на верхней плите
700Л.01.400.009	37	2х3	фотометрическое окно на верхней плите
AS-314	17	Ø5	уплотнение низковакуумного  датчика, ввод термопары
AS-320	28	Ø5	уплотнение высоковакуумного датчика
AS-326	42	Ø5	уплотнение магистрали системы откачки
AS-337	75	Ø5	уплотнение магистрали системы откачки
AS-371	216	Ø5	затвор турбомолекулярного насоса

 

          10.5 Применяемые в вакуумной установке  подшипники по ТУ 37.006.014-75 и ТУ 37.006.058-78 .  рекомендуется смазывать   дисульфидом молибдена.

          10.6 Перечень подшипников, применяемых в вакуумной установке, приведен в таблице 10.2.

Таблица 10.2- Перечень подшипников

Обозначение         подшипника	Обозначение  документа	Место установки
подшипник 18	гост 8338-75	мех-м перевода контрольного образца
подшипник 29	гост 8338-75	мех-м перевода контрольного образца
подшипник 101	гост 8338-75	электронно-лучевые испарители
подшипник 113	гост 8338-75	ввод вращения арматуры
подшипник 100	гост 8338-75	ввод вращения арматуры

 

          10.7. Перечень резиновых колец по ГОСТ 18829-73, применяемых в вакуумной установке, приведен в таблице 10.3.

Таблица 10.3- Перечень резиновых  колец

Кольцо	Место установки
008-012-25-2-2	резистивный испаритель
016-020-25-2-2	резистивный испаритель
020-025-30-2-2	привод заслонки
090-096-25-2-2	электронно-лучевые испарители

 

          10.8. Периодически, один раз в месяц, производить осмотр вакуумной установки и профилактический ремонт ее составных частей.

          10.9. Зубчатые и винтовые передачи, не работающие в вакууме, цилиндры привода затвора и заслонок следует при  ремонте, но не реже одного раза в год, смазывать методом ручной набивки смазкой ЛИТА НЛи-Т 5/10-2.

          10.10. Защитное стекло смотрового окна по мере загрязнения следует снять и заменить или очистить в солевом растворе, промыть бензином Б-91/115 ГОСТ 1012-72, просушить, промыть спиртом ректификованным ГОСТ 18300-87 и снова просушить.

          10.11. Внутреннюю поверхность вакуумной камеры, двери камеры, криопанели, затвора, арматуры, экраны, заслонки, тигли, испарители по мере загрязнения очистить от продуктов напыления, протереть бязью ГОСТ 29298-2005, смоченной спиртом этиловым ректификованным ГОСТ 18300-87.

          10.12. Чистку манометрического преобразователя ПММ-32-1 производить не реже одного раза в месяц.

          10.13. При односменной работе в зависимости от технологического процесса рекомендуется соблюдать периодичность чисток, приведенную в таблице 10.4.

 

Таблица 10.4 - Периодичность  чисток

 

Наименование технологического процесса	Количество чисток в месяц
Нанесение фильтров Нанесение многослойных просветляющих покрытий Нанесение однослойных  просветляющих покрытий	8 4   2

 

10.14. Для смены катода  электронно-лучевых испарителей  при обесточенной вакуумной установке и выключенных всех узлах открыть дверь камеры. Снять экраны, закрывающие высоковольтные вводы. Отсоединить токоведущие провода от катодного узла. Снять пластину 32 (см. рис. 4.14.1.), закрывающей катодный узел. Вывернуть винты 56, фиксирующие катодный узел (см. рис.4.14.3.1.). Достать сам катодный узел. Ослабить винты 4 и удалить остатки сгоревшего катода. Вычистить детали катодного узла и промыть их бензином двойной перегонки. Вставить новый катод 10, зафиксировав его винтами 4 (см. рис. 4.14.2.4.). С помощью пинцета отцентрировать катод относительно экранов 11 и 13. Собрать катодный узел и установить его на место. Установить на место пластину 32, подключить к катодному узлу токоведущие провода и защитный экран.

10.15. Для смены тиглей электронно-лучевых испарителей снять пластину 32 (см. рис. 4.14.1.), снять любой из магнитопроводов 34 (см. рис. 4.14.3.1.), открутив четыре винта, располагающиеся под днищем тигля снять его, слегка приподняв его; установить другой тигель, проделав все операции в обратном порядке.

10.16. Нагрузка резистивного испарителя должна быть выбрана таким образом, чтобы ток в цепи резистивного испарителя при параллельном соединении обмоток трансформатора не превышал 300 А, при последовательном соединении обмоток –150 А.

10.17. При эксплуатации  вакуумной установки необходимо следить, чтобы масло в маслораспылителе занимало не менее трети объема резервуара и своевременно его доливать. Заливка масла в маслораспылитель производится через одно из двух резьбовых отверстий, закрываемых пробками. Перед заливкой маслораспылитель следует отключить от магистрали сжатого воздуха.

Для распыления используются индустриальные масла И-12А и И-20А по ГОСТ 20799-88. Допускается работа на других индустриальных маслах, имеющих аналогичные свойства и кинематическую вязкость не более 35 сСт. Класс чистоты должен быть не ниже 14 по ГОСТ 17216-2001.

          10.18. Перед упаковыванием в транспортную тару наружные металлические поверхности вакуумной установки, запасных частей, инструмента и принадлежностей за исключением поверхностей, имеющих лакокрасочные покрытия, подлежат консервации.

          10.19. Консервация производится в соответствии с ГОСТ 9.014-78 по временной противокоррозионной защите для группы изделий III-3.

10.20. В варианте временной  противокоррозионной защиты при частичной консервации ВЗ-1 применяется консервационное масло НГ-203 А по ГОСТ 12328-77. Масло наносится кистью или пульверизатором. Покрытые консервационным маслом поверхности закрываются бумагой оберточной марки А-100 по ГОСТ 8273-75.

         При полной консервации ВЗ-10 применяется силикагель технический в изолированном объеме изделия или упаковки.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

11. КОНСЕРВАЦИЯ

 

Таблица 11.1. Консервация

Дата	Наименование работы	Срок действия	Должность, фамилия и подпись

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

12. СВЕДЕНИЯ О КОНСЕРВАЦИИ,

УПАКОВЫВАНИИ И ТРАНСПОРТИРОВАНИИ

 

12.1. Перед упаковыванием  в транспортную тару наружные  металлические  поверхности вакуумной установки, запасных частей, инструмента и принадлежностей за исключением поверхностей, имеющих лакокрасочные покрытия, подлежат консервации.

12.2. Консервация производится  в соответствии с ГОСТ 9.014-78 по  временной противокоррозионной защите для группы изделий III-3.

12.3. В варианте временной противокоррозионной защиты при частичной консервации ВЗ-1 применяется консервационное масло НГ-203 А по ГОСТ 12328-77. Масло наносится кистью или пульверизатором. Покрытые консервационным маслом поверхности закрываются бумагой оберточной марки А-100 по ГОСТ 8273-75.

         При полной консервации ВЗ-10 применяется  силикагель технический в изолированном объеме изделия или упаковки.

12.4. Вариант временной  упаковки ВУ-5 по ГОСТ 9.014-78.

         На выступающих частях упаковываемых  составных частей вакуумной установки закрепляются мешочки с силикагелем техническим по ГОСТ 3956-76. Отдельно упаковываемые составные части вакуумной установки помещаются в герметичные чехлы из полиэтиленовой пленки по ГОСТ 10354-82 к поверхности упаковываемых изделий и чехлы герметично завариваются.

12.5. Эксплуатационные  документы упаковываются в пакет  из полиэтиленовой пленки по  ГОСТ 10354-82, швы которого герметично  завариваются. Пакет с документацией помещается  в ящик для документов.                 

12.6. Составные части вакуумной установки упаковываются в отдельные ящики (смотри таблицу 3.3)

12.7. Результаты консервации  вакуумной установки оформляются  в 

«Свидетельство об упаковывании»

12.8. Транспортирование вакуумной установки в упаковке производится автомобильным и железнодорожным транспортом в открытых транспортных средствах в соответствии с условиями транспортирования С по ГОСТ 23170-78 и условиями хранения 5 по ГОСТ 15150-69.

12.9. Крепление упакованной  вакуумной установки в транспортных  средствах и правила перевозки должны соответствовать требованиям « Правила перевозки грузов» и «Технические условия погрузки и крепления грузов».

12.10. При погрузке, транспортировании  и выгрузке составных частей  вакуумной установки  расположение тросов должно соответствовать условным обозначениям, изображенным на упаковочных ящиках; избегать наклона ящиков более 15⁰, а также ударов, сильных сотрясений или рывков при подъеме и опускании.

12.11. При распаковке ящиков с  составными частями вакуумной  установки не допускается применять большие усилия и резкие удары. Распакованные составные части следует оберегать от попадания на них грязи, пыли, сырости.

12.12. В распакованном  виде транспортирование откачного  поста должно производиться с помощью четырех тросов, закрепленных за четыре крюка на верхней раме каркаса или с использованием нижней плоскости каркаса (на роликах, автокарах и т.д.).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

13. Свидетельство об упаковывании

 

СВИДЕТЕЛЬСТВО ОБ УПАКОВЫВАНИИ     ___________________   ______________________    №_________________      наименование изделия                         обозначение                                  заводской номер     Упакован(а)_____________________________________________________                                                           наименование или код изготовителя согласно требованиям, предусмотренным  в действующей технической документации     ___________________   _____________________   _____________________               должность                                личная подпись                            расшифровка подписи     ________________________________                        год, месяц, число