Оптические свойства композиционных углеродных покрытий

Современная тенденция рационального использования материальных ресурсов находит свое отражение в микроминиатюризации многих оптических и электронных устройств, применяемых в различных областях науки и техники. В связи с этим возрастает роль тонкослойных покрытий, позволяющих решать важные технические задачи с помощью компактных элементов при использовании минимального количества исходного материала. Для достижения заданного функционального назначения тонкослойных покрытий требуется соответствующее метрологическое обеспечение. При этом предъявляются повышенные требования к методам и средствам контроля их параметров и характеристик.

Введение 3
1 Физико-технологические особенности формирования композиционных углеродных покрытий и методы исследования их оптических характеристик 6
1.1 Экспериментальное оборудование для получения композиционных углеродных покрытий 6
1.1.1 Получение алмазоподобных пленок методом ионно-лучевого синтеза 12
1.1.2 Модернизация серийной вакуумной установки для получения алмазоподобных пленок лазерным методом 14
1.1.3 Комбинированный метод получения алмазоподобных пленок 15
1.2 Аппаратура для исследования структуры и состава углеродных алмазоподобных покрытий. 17
1.3 Методы исследования оптических характеристик углеродных алмазоподобных покрытий. 21
1.3.1 Спектральные методы определения основных оптических свойств тонких покрытий. 21
1.3.2 Эллипсометрические методы определения показателя преломления и коэффициента поглощения тонких покрытий: лазерная эллипсометрия, спектральная эллипсометрия. 25
2 Синтез композиционных углеродных покрытий и исследование их оптических характеристик 30
2.1 Синтез углеродных алмазоподобных покрытий импульсным катодно-дуговым распылением и с помощью углеродной плазмы. 30
2.2. Эллипсометрические методы определения основных оптических характеристик композиционных углеродных покрытий. 33
3 Исследование зависимости основных оптических характеристик композиционных углеродных покрытий от режимов и параметров их синтеза. 39
3.1 Эллипсометрические измерения оптических свойств композиционных углеродных покрытий 39
3.2 Спектрофотометрические измерения оптических характеристик композиционных углеродных покрытий 48
Заключение 51
Список использованных источников 52